diff --git a/esphome/components/internal_temperature/internal_temperature.cpp b/esphome/components/internal_temperature/internal_temperature.cpp
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--- a/esphome/components/internal_temperature/internal_temperature.cpp
+++ b/esphome/components/internal_temperature/internal_temperature.cpp
@@ -8,8 +8,9 @@ extern "C" {
 uint8_t temprature_sens_read();
 }
 #elif defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C3) || \
-    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C6) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C61) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32H2) || \
-    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32P4) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S3)
+    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C5) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C6) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C61) || \
+    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32H2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32P4) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S2) || \
+    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S3)
 #include "driver/temperature_sensor.h"
 #endif  // USE_ESP32_VARIANT
 #endif  // USE_ESP32
@@ -27,9 +28,9 @@ namespace internal_temperature {
 
 static const char *const TAG = "internal_temperature";
 #ifdef USE_ESP32
-#if defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C3) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C6) || \
-    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C61) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32H2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32P4) || \
-    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S3)
+#if defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C3) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C5) || \
+    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C6) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C61) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32H2) || \
+    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32P4) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S3)
 static temperature_sensor_handle_t tsensNew = NULL;
 #endif  // USE_ESP32_VARIANT
 #endif  // USE_ESP32
@@ -44,8 +45,9 @@ void InternalTemperatureSensor::update() {
   temperature = (raw - 32) / 1.8f;
   success = (raw != 128);
 #elif defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C3) || \
-    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C6) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C61) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32H2) || \
-    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32P4) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S3)
+    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C5) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C6) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C61) || \
+    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32H2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32P4) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S2) || \
+    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S3)
   esp_err_t result = temperature_sensor_get_celsius(tsensNew, &temperature);
   success = (result == ESP_OK);
   if (!success) {
@@ -81,9 +83,9 @@ void InternalTemperatureSensor::update() {
 
 void InternalTemperatureSensor::setup() {
 #ifdef USE_ESP32
-#if defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C3) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C6) || \
-    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C61) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32H2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32P4) || \
-    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S3)
+#if defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C3) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C5) || \
+    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C6) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32C61) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32H2) || \
+    defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32P4) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S2) || defined(USE_ESP32_VARIANT_ESP32S3)
   temperature_sensor_config_t tsens_config = TEMPERATURE_SENSOR_CONFIG_DEFAULT(-10, 80);
 
   esp_err_t result = temperature_sensor_install(&tsens_config, &tsensNew);